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氢探头是一种用于测量渗氮及氮碳共渗过程中氢含量的装置。它基于氢气与氢探头表面上的催化剂发生反应产生电子流的原理工作。当氢气分子与氢探头上的催化剂表面发生吸附作用时，被吸附的氢分子会发生电子转移，释放出电子并形成氢离子。氢离子在探头表面产生电光声激发，使得电子被激发或迁移，形成电流。这个电流与氢气浓度成正比关系，因此通过测量电流的大小可以间接得到氢气浓度的信息。