商铺名称：上海瞻驰光电科技有限公司
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商品详情
应用领域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC Power Device
设备特点：
一体化设计，可对应各种晶圆尺寸＆不同尺寸晶圆混合搬送
对应工艺范围广：从下一代有机膜工艺到氧化膜/SiN的刻蚀
利用微波电源，低温工艺，实现无损伤工艺
维护保养周期长：6个月（实际值）
易于维护和工艺腔清洗时间短（30分钟）
设备特点：
一体化设计，可对应各种晶圆尺寸＆不同尺寸晶圆混合搬送
对应工艺范围广：从下一代有机膜工艺到氧化膜/SiN的刻蚀
利用微波电源，低温工艺，实现无损伤工艺
维护保养周期长：6个月（实际值）
易于维护和工艺腔清洗时间短（30分钟）
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