美国ALICAT气体质量流量控制器山西总经销 ALICAT质量流量控制器说明书调试安装性能
- 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
- 校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
- 可重复性:0.5%满量程
- 标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
- 预热时间:70ms,达到完整精度
商铺名称:北京芯笙微纳电子科技有限公司
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美国ALICAT气体质量流量控制器山西总经销 ALICAT质量流量控制器说明书调试安装 对于大数额订单,BASIS系列OEM气体质量流量控制器,能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。
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