性能
- 可用量程:0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MC系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
商铺名称:北京芯笙微纳电子科技有限公司
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Whisper系列低压损气体质量流量控制器,适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生最小影响,实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID调节功能,确保产品能够在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。
美国ALICAT MCW-50SCCM-D低压损气体质量流量控制器