半导体真空设备气体流量控制器 ALICAT MCV气体质量流量控制器 

• 可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• 可重复性：0.2%满量程
• 标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
• 气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦气）
• 无需预热时间

工作条件

• 兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
• 工作温度：-10°C至+60°C
• 内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
• 耐受压力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

半导体真空设备气体流量控制器 ALICAT MCV气体质量流量控制器 MCV系列包装清单：

• MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器（电源需另行订购）
• NIST可溯源校准证书
• 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

• 过程端口接头和过滤器
• 电源
• 通讯线缆和转换线缆
• BB3和BB9多点式集线盒
• Flow Vision软件