信息化时代下，测量技术是科学技术发展和国民经济提高的关键与基础，尤其是测量型仪器仪表，可以说是信息产业的源头和重要组成部分。现代化工业数字化测量要求高精度化、低成本和小型化，因为诸如汽车发动机等均要求其组成零部件必须具有非常高的精度，以便减少噪声、防止环境污染和节省能耗，这些都是时代对制造业提出的紧迫要求。目前在3D检测领域中，在同等系统放大倍率下，3d光学干涉轮廓仪的检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，是高精度的检测仪器之一，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了表面形貌干涉仪，其他仪器都没有办法达到其测量精度要求。

白光干涉原理

中图仪器研发生产的SuperView W1 3d光学干涉轮廓仪让轮廓测量价格更为实惠，分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，应用领域广泛，操作简便。

产品参数

技术指标

测量应用
以测量单刻线台阶为例：

1、在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。
2、在计算机上打开测量软件，在软件界面上设置好目镜下行点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。

3、按开始按钮，仪器可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。

标准配置

SuperView W1 3d光学干涉轮廓仪具有测量精度高、功能全、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。