日本恩格斯engis化合物半导体材料LD 抛光设备EJ-380IN
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商品详情
单面抛光设备：设备的设计理念及特征本设备是搭载φ300mm（12英寸）定盘的高精度、高效率的抛光机。任何人通过配置在设备后部的台式定盘修正机都可以非常容易的实现定盘平面度数μm以内的修正，从而实现高精度抛光加工。 主要规格： 设备型号EJ-380INWS 定盘直径外径φ380mm×内径φ140mm（标准尺寸） 水冷部位密闭型冷却水循环式（内循环分离式） 尺寸705mm×750mm×680mmH*含防尘盖高度 重量100Kg（NET）
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