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商品详情
品牌：ADT
主要功能：用于晶圆划片后芯片表面残留物的清洗，避免表面沾污、微粒影响后继封装工艺。
应用领域：芯片切割 最大支持8寸晶圆，该设备为划片工艺后之晶圆连同绷框置于旋转的吸盘上面，藉真空吸盘吸住晶圆。 吸盘下方为变频马达用于清洗、吹干及旋干时之转动。 利用步进马达转动二流体喷嘴及喷气嘴，借以喷洒清洗剂及清除切屑、杂质及吹干水份。
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