半导体生产气体流量控制器3810DS低温质量流量计
半导体生产气体流量控制器3810DS低温质量流量计
产品价格:¥3680.00(人民币)
  • 规格:完善
  • 发货地:北京
  • 品牌:
  • 最小起订量:1
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    企业证件:通过认证

    商铺名称:北京芯笙微纳电子科技有限公司

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    商品详情
      产品参数
      品牌KOFLOC
      产品特性微小流量
      是否进口
      产地中国
      加工定制
      测量范围0.01-500SLPMm3/h
      精度等级1
      公称通径φ6-φ50mm
      适用介质气体、液体
      工作压力0-1MpaMPa
      工作温度0-100摄氏度℃
      规格质量流量计
      可售卖地全国
      类型质量流量计
      型号EX700

      半导体生产气体流量控制器3810DS低温质量流量计
      日本
      KOFLOC-DF300C系列质量流量控制器-数显式

      作为8500MC系列的升级型号,DF300C拥有更

      更快反应速度、多种气体可切换等功能,上市以来受到

      新老客户的欢迎,更多应用在对精度、速度方面有更高要求场合

      24VDC、4-20MA、RS485通讯等等电气参数,更符合市场需求

      同时自带LED显示屏(瞬时、累计),让现场操作更加方便、快捷

      自带LED显示面板,可本地设定流量

      瞬时、累计流量 一起显示

      内置3点流量报警输出

      可修改满量程、气体种类



      性能参数

      DF300C系列质量流量控制器-数显式

      型号

      DF300C

      DF350C

      量程(N2)

      10SCCM-20SLPM

      20-50SLPM

      气体

      所有非腐蚀气体和 部分腐蚀气体

      精度

      ±1.0SP(>35FS)

      ±0.35FS(≤35FS)

      ±1.0FS

      重复性

      ±0.25FS

      有效范围

      2-

      响应时间

      1秒以内

      耐压

      1.0Mpa

      进口压力

      0.5Mpa

      泄漏率

      1*10-8pa·m3/s以下

      温度范围

      5~50℃

      精度 温度

      15~35℃

      保存温度

      -10~60℃

      湿度范围

      10-90RH(不能结露)

      材质

      本体SUS316、SUS316L

      密封圈VITON,选配NBR或FKM

      电气接口

      DB15

      通讯接口

      圆形4芯

      模拟信号

      输入/输出0-5V、4-20mA 可切换

      报警输出3点

      NPN、3点、35V、50mA

      供电

      24VDC(±10)300mA;

      管路连接

      标配1/4F9

      选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

      重量

      约800g

      电气连接

      DB15针脚定义:

      针脚

      定义

      1针脚

      24VDC

      2针脚

      电源GND

      3针脚

      4针脚

      阀门开关信号

      5针脚

      流量设定信号

      6针脚

      流量输出信号

      7针脚

      输出COM

      8针脚

      输出COM

      9针脚

      报警输出COM

      10针脚

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