测量、测控气体介质的质量流量

美国ALICATMC20系列质量流量控制器

Alicat的LK2系列数字式质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀测量与控制过程气体的质量流量体积流量和压力，还可同时测量并显示气体温度。

MC20系列质量流量控制器内部无可移动组件和热元件通过抗振动测试对安装方向不敏感。Alicat提供总体的用户支持，包括技术咨询

快捷的设备校准服务和质保。

alicat模拟量气体流量控制器M20系列

标准精度0.8RD 0.2FS、高精度0.4RD 0.2FS

有效范围0.5-

内置90-130条气体曲线可选

响应速度100MS

多种数字信号可选

alicat模拟量气体流量控制器M20系列

性能/参数

MC20系列质量流量控制器

流量范围

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量单位如kg/h、g/min等

标定气体

内置90条气体可选择

精度(调零后)

±(0.8Rd 0.2FS)

高精度(调零后)

±(0.4Rd 0.2FS),限于5SCCM-500SLPM

重复性

±0.2FS

漂移(零点/满量程)

0.02 F.S/oC/Atm

工作范围

0.5-

响应时间

100毫秒(调整)

启动预热时间

1秒内

标准工况

25oC & 14.696 psia，可自定义修改

工作温度范围

-10~-50℃(另有高温订制品)

工作湿度范围

0-RH(非冷凝)

工作压力

10Bar

安装方向

任意

阀门状态

常闭

材质