商铺名称:江苏英思特半导体科技有限公司
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1.概述
1.1 设备概况:
主要功能:本设备主要手动搬运方式,通过对部件腐蚀、漂洗、等方式进行处理,从而达到一个用户要求的效果。
1.1.1 设备名称:部件清洗机
1.1.2 设备型号:CSE-SC-N261
1.1.3 整机尺寸(参考):约1800mm(L)×1300mm(W)×1900mm(H);
1.1.4 设备形式:室内放置型;
1.1.5 操作形式:手动
1.2 设备组成
该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成
设备走向:方案图按 “左进右出”方式,另可按要求设计“右进左出”方式;
1.3 设备描述
l? 此装置是一个手动的处理设备。
l? 每个槽前上方对应操作按钮,与触摸屏(PROFACE/OMRON)互相配合
l? 主体材料:德国进口10mmPP板,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐;
l? 台面板为德国10mm PP板;
l? DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材,需满足18MW去离子水水质要求,酸碱管路材质为进口PFA/PVDF;
l? 采用国际标准生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成
l? 排风:位于机台后上部
l? 工作照明:上方防酸照明
l? 安全考虑:
1. 设有EMO(急停装置),
2. 强电弱点隔离
3. 所有电磁阀均高于工作槽体工作液面
4. 电控箱正压装置(CDA Purge)
5. 设备三层防漏? 楼盘倾斜?? 漏液报警? 设备整体置于防漏托盘内
6. 排放管路加过滤装置
l? 所有槽体折弯成型,可有效避免死角颗粒;
二、设备结构及主要工艺概况