英思特湿法显影清洗台
英思特湿法显影清洗台
产品价格:¥100(人民币)
  • 规格:定制
  • 发货地:如皋
  • 品牌:
  • 最小起订量:1定制
  • 免费会员
    会员级别:试用会员
    认证类型:企业认证
    企业证件:通过认证

    商铺名称:江苏英思特半导体科技有限公司

    联系人:陈经理(先生)

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    商品详情


      1.设备概况

      l? 名称:显影清洗台

      l? 型号:CSE-JR11-N001;

      l? 机台尺寸 : 2000mmWx1500mmDx2000mmH

      l? 重量:600Kg( 大约);

      l? 工作环境:室内放置;

      2.机台台面

      l? 操作台面高度为850mm,适合于身高为1.5m到1.8m人员操作;

      3.整机构造

      l? 骨架:优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐焊接而成;

      l? 外壳:德国进口10mm瓷白PP板热焊接而成;

      l? 防护门:正面操作侧采用透明上下推拉门;

      l? 管路:管路位于机台下后部,以节省空间,采用英制接口;

      l? 排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量调节装置;

      l? 工作照明:机台上方配黄光照明(与工作区隔离);

      l? DI/N2 GUN:可伸缩的N2 Gun和DI水枪个1把,置于工作区右侧;

      l? 台面板为德国10mm PP板(带有漏液孔);

      l? 人机界面:Touch Screen彩色界面;

      l? 支脚:有滑轮装置和固定装置,可调整高度和锁定;

      l? 三色报提示等和蜂鸣器

      4.控制系統

      l? PLC可程式控制器(欧姆龙)+Touch Screen 8"彩色人机界面操作。

      l? 制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式;

      l? 操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。

      l? 配有独立配电箱,电路区进行功能分块,强电、弱电块,以便于维护;

      l? 具Password功能以避免操作人员误改参数:

      Password-1.启动及可进入自动模式內容。

      Password-2可进入编辑模式修改制程参数。

      Password-3可进入手动模式。

      5.安全保护

      l? 设备采用耐腐蚀导线并通过氟套管进行保护,防腐防水;

      l? 设有防漏电断路保护装置;

      l? 电控部分正压空体保护,防水防腐;

      l? 设备有可靠的接地装置及紧急关机和提示系统;

      l? EMO 装置紧急按钮开关;

      l? 蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色提示灯及蜂鸣声光故障提示;

      l? 机台底部设有防漏盘及漏液感知;

      l? 液位异常感知/安全液位保护;

      l? 加熱保护;

      6.工作槽参数

      1

      2

      3

      4

      5

      显影-1

      显影-2

      显影-3

      显影-4

      正胶显影

      正胶显影

      负胶显影

      负胶显影

      N2 dry-1

      水洗槽

      QDR-1

      QDR-2

      QDR-3

      N2 dry-2

      6

      7

      8

      9

      10



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