详细介绍: 数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置,它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率,扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。
数字式四探针测试仪赠设测试结果分类功能,最大分类10类 数字式四探针测试仪所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;自动转换量程;测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长;测试结果由数字表头直接显示。
数字式四探针测试仪基本技术参数:
1. 测量范围、分辨率电阻:1.0×10-3 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω电 阻 率: 10.0×10-3 ~ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω-cm方块电阻: 10.0×10-3 ~ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ~ 0.1×103 Ω/□
2. 可测半导体材料尺寸直 径: 测试台直接测试方式 Φ15~130mm,其他方式不限.长(或高)度: 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程划分及误差等级量程 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0
kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
误差 ±0.5%FSB±1LSB(在各量程范围内),超量程或欠量程可测量,但误差将随超欠程度而变大
4. 工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W5) 外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm净 重:≤1kg . |