详细介绍:
1200℃单温区双路气体CVD系统
产品型号:CY-O1200-60IC150-D2FH
主要用途:1200℃单温区双路气体CVD系统广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验;也可用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域
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· 产品介绍
一、产品简介:
1200℃单温区双路气体CVD系统(配快速接头)主要由:1200型单温区管式炉、双路气体浮子流量计、CY-4C真空泵和大口径真空管道、挡板阀等组成;气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强,内壁洁净,不易污染气体.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接,不易泄漏.。广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验;也可用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。
二、主要特点:
1.该炉体采用上下“分-合”结构,易于取放炉管;
2.炉膛内部设计有对流栅格,炉体内部气流容易形成上下对流循环,有利于炉温平衡,温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1100℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛采用进口节能材料制作,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。
5.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布,并且发热元件已做内嵌式固化,加热时热能辐射均匀温和。
6.炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然。
7.每台炉子出厂时:热点偶都已做严格的测温校验,不合格品严禁出厂。
8.每台炉子的控温系统出厂前都经过低温,中温,高温的老化测试,确保产品质量稳定可靠。
9.气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强,内壁洁净,不易污染气体.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接,不易泄漏.可以外接两种气体。
10.真空泵为双击旋片式,可以长时间连续工作,并配有油气过滤器,可以很好的净化油气,防止污染。
三、技术参数:
1
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产品名称
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1200型单温区双路气体浮子流量计CVD真空管式炉
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2
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常规型号
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CY-O1200-50IC150-D2FH
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3
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CY-O1200-60IC150-D2FH
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4
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CY-O1200-80IC150-D2FH
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5
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CY-O1200-100IC150-D2FH
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6
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炉膛模式
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开启式
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7
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显示模式
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高亮数码管显示(LED)
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8
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炉膛材料
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进口纤维
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9
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加热元件
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进口合金加热丝
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10
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极限温度
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1200℃
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11
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工作温度
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≤1150℃
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12
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升温速率
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≤20℃(建议:10℃/min)
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13
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加热温区
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单温区
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14
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温区长度
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440mm
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15
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恒温区长
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100mm
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16
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炉管材质
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高纯石英
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17
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炉管常规直径
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50mm
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18
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60mm
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19
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80mm
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20
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100mm
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21
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炉管长度
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1000mm
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密封方式
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不锈钢真空法兰
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气 密 性
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真空法兰和石英炉管的气密性最高可达4.03×10-3Pa
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控制模式
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智能PID多段程序控温
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控温精度
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±1℃
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温度曲线
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多段"时间—温度曲线"任意可设
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预存曲线
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可预存多条温度曲线
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电流监控
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指针式电流计
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电压监控
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指针式电压计
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30
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超温报警
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有
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31
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过流保护
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有
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32
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断偶提示
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有
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测温元件
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K型热电偶
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电气认证
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CE认证
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供电电源
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AC:220V 50Hz~60Hz
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整机功率
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2.5KW
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气体通道
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可连接2种气源
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流 量 计
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浮子流量计
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A路量程
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10~100ml/min
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40
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B路量程
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16~160ml/min
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气路压力
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-0.1~0.15 MPa
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系统真空
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5~10Pa(需要达到其它真空度时,需选配不同的抽真空装置)
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泵路链接
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KF16不锈钢质波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀
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真 空 计
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标准配置机械真空计,也可选配电子真空计
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售后服务
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15个月质保,终身保修
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包装形式
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多层胶合板包装箱,包装箱不回收
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随机配件
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石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。
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整套尺寸
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左右:700mm;前后:600mm;高度:1190mm
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