ARZUFFI发电机 BDS-MF系列

  Arzuffi BDS-MF是一款等离子发生器，其正弦输出电压为40 kHz，功率输出为5 kW或10 kW，专为PECVD等离子或等离子体激发而设计。

  该发生器能够提供高达10kW(5KW)至5000V的RMS输出。输出为两个对称电极的平衡型。

  典型的应用是大型工艺室的PECVD工艺。

  一个特点是内部输出的高压变压器，带有两个插座，以适应等离子体阻抗。

  该发生器设计用于现有机器上的即插即用安装。