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液压系统一直存在故障率高、故障检测定位困难的问题。常用的液压系统振动信号诊断技术、油液分析诊断技术已无法准确获得反映液压系统运行状态的流量、压力等关键参数及其变化；传统的液压介入式测量方法，检测接口有限，拆装困难，而且影响系统的动态特性。
而流量是液压系统的重要参数之一，其大小直接反映液压系统运行状况的好坏。通过测量系统流量实现液压系统的实时监控，以保证液压系统的正常运转，同时也便于诊断液压系统故障。因此检测液压系统的流量具有重要意义。
2 时差法测液压流量原理
超声波用于流体的流速测量有许多优点。和传统的机械式流量仪表、电磁式流量仪表相比它的计量精度高、对管径的适应性强、非接触流体、使用方便、易于数字化管理等等。近年来，由于电子技术的发展，电子元气件的成本大幅度下降，使得超声波流量仪表的制造成本大大降低，超声波流量计也开始普及起来。经常有客户询问有关超声波流量测量方面的问题。作为普及，我们将陆续撰写一些专题文章，来介绍一些相关知识，以便推广和普及超声波流量技术的普及和提高。
时差法的测量原理为：超声波在流体中的传播速度与流体流动速度有关，据此可测量流量。在流速v的流动媒质的上、下游分别放置超声波换能器1和换能器2,结构如图1所示。

换能器l和换能器2间距为L,管道直径为D,L与v之间的夹角为θ。当换能器2接收换能器1发送的超声脉冲时，超声沿L的传播速度为（c-v），其中c是静止媒质中的超声波速度。超声波逆流由换能器l传输到换能器2的时间为：

将换能器的接发功能调换，换能器2发送超声脉冲，换能器l接收超声波顺流由换能器2传输到换能器1的时间：

于是，逆流和顺流的时间差为：

因为超声波在液体里的传播速度为***0m/s,而流体速度在不是很高的情况下，可认为：则式（3）化简为：
这样，液体平均流速v就可由声时差△t确定，即在c和x恒定的前提下，v与△t成线性。再根据流量

信号采集与处理单元主要由信号调理器、DSP接口板、BCDGPIB数据转换单元、1 253增益相位分析仪、PM3384四通道数字-模拟组合式示波器以及监控计算机等组成，负责来自传感器信号的隔离、放大、滤波、采集、处理等功能。

　　信号调理器除完成来自传感器或二次仪表模拟信号的放大、隔直、滤波等功能外，它还提供模拟信号的隔离功能，有效地消除了由于传感器地网络对测试系统的影响。伺服放大器的输入、输出及先导阀阀芯位移、主阀阀芯位移信号通过调理器隔离后与测试系统相连，从而避免了测试系统对伺服阀及伺服放大器的影响，保证了伺服阀和伺服放大器的正常工作及参数调节的独立性。　　在DSP接口板采集来自信号调理器的模拟信号的同时，监控计算机通过BCDGPIB 数据转换单元采集来自二次仪表的BCD数字量，这样可以方便地实现模拟量的在线校准和调零。伺服阀的静态特性曲线使用数字量校准后的模拟量来绘制，从而既保证了伺服阀静态特性的数据准确性，又保证了伺服阀静态特性曲线的分辨率和完整性。

　　频率特性可以由1253增益相位分析仪完成，结果通过IEEE488总线传送到监控计算机进行二次处理后由监控计算机进行显示、打印等输出。

　　阶跃特性由PM3384四通道-模拟组合式示波器采集，然后通过监控计算机分析处理后显示、打印等。

　　(5) 检测结果输出单元

　　X-Y记录仪、大屏幕显示器、打印机以及PM3384四通道-模拟示波器等构成测试系统的检测结果输出单元。
4　试验回路及实验

　　(1) 静态特性试验回路及实验

　　电液伺服阀的静态特性试验主要包括无载控制流量特性、压力增益特性以及内泄漏特性等内容，从这3条特性曲线上，可以求得电液伺服阀的流量增益、线性度、滞环、对称度、极性、压力增益、零偏以及内泄漏等特性参数。